All Categories
SiC Ceramics
Navicula Lamellarum SiC Altae Puritatis
Navicula Lamellarum SiC Altae Puritatis

Navicula Lamellarum SiC Altae Puritatis


Semixlab, fabricator et praebitor Sinensis princeps scapharum lamellarum SiC purissimae, scapha lamellarum e carburo silicii late in nexibus processuum maximi momenti, ut puta LPCVD, oxidatio et recoctio, propter excellentem stabilitatem thermalem, resistentiam corrosionis et fortitudinem mechanicam, adhibetur. Si scapham lamellarum SiC quaeris quae contaminationem particularum minuere, vitam utilem extendere et salutem lamellarum praestare possit, hoc productum tibi optima electio erit.

Description

In agro fabricationis semiconductorum, processus altae temperaturae maximas difficultates vectoribus laminarum metallicarum (wafer wafers) imponunt. Cum temperatura 1600℃ excedit, vector quartz traditus (wafer wafer used quartz ship) molliri et deformari et sordes emittere incipit, quo fit ut numerus fragmentorum laminarum metallicarum (wafer wafers) ad summum augeatur.

Navicula lamellarum SiC altae puritatis, cum commodis materialibus innatis carburi silicii (SiC), hanc difficultatem industriae omnino solvit et instrumentum essentiale fit ad fabricationem semiconductorum provectam, praesertim productionem instrumentorum potentiae SiC.

Specifications

Proprietates physicae principales et parametri technici producti:

euismod Indicatores Navicula Lamellarum SiC Altae Puritatis Vector quartzensis traditionalis Commoda emendata
Maximum caliditas operating 1800°C (continuum) / 2000°C (summum) 1200 ° F Resistentia temperaturae quinquaginta centesimis aucta
Scelerisque conductivity 4.9 W/cm·K (temperatura ambiente) 1.5 W/cm·K Efficacia dissipationis caloris aucta est 226%
Coefficiens scelerisque expansion 4-5 × 10⁻⁶/K 0.55 × 10⁻⁶/K Stabilitas thermalis septies aucta est
duritiam Mohs 9.2 (secundus tantum post adamantum) Mohs 7 Resistentia attritionis tricies aucta
Tensio puncti contactus lamellae <5 MPa (forma anti-lapsus) > MPa 20 Frequentia lapsus crustulae 80% redacta est
Emissio particularum 0 particulae/cm² (Classis 100 munditiae) >50 particulae/cm² Pollutio prope nihil

Excellens effectus vectoris lamellae e carburo silicii (SiC Wafer Carrier) ex proprietatibus singularibus scientiae materialis oritur. Infra comparatio accurata parametrorum physicorum praecipuorum invenitur:

Hi parametri directe in meliorem proventum et imminutos sumptus in fabricatione semiconductorum vertunt, ut sequitur demonstratur:

Commodum effectus thermalis: Lata lacuna energiae SiC (3.26 eV) efficit ut structura crystallina stabile ad 2000°C servetur et deformationem thermalem vitet. Alta conductivitas thermalis (4.9 W/cm·K) permittit ut crustulum aequabilius calefiat et vitia clathri a tensione thermali causata eliminat.

Robur mechanicum: Durities 9.2 Mohs ictum physicum per processum resistit, et vita utilis plus quam decies maior est quam vectorum quartzorum traditionalium. Designatio singularis fissurae semicircularis tensionem contactus lamellae infra 5MPa moderatur, phaenomenon lapsus temperaturae altae fere eliminans.

Inertia chemica: Tolerantia erga gases valde corrosivos, ut HF et HCl, plus quam decem milia horarum excedit, et nulla pollutio in LPCVD, diffusione, oxidatione aliisque processibus servatur.

Applications

Munus principale navis SiC lamellaris altae puritatis

Nostra navicula SiC lamellarum puritatis altae late in sequentibus processibus fabricationis semiconductorum praecipuis adhibetur:

Recoctio Altae Temperaturae: In linea productionis opificis laminarum SiC, recoctio altae temperaturae est gradus clavis ad activandas dopantes et reparanda vitia clathri. Stabilitas altae temperaturae scaphae laminarum SiC uniformitatem et efficaciam processus recoctionis praestat.

Incrementum Epitaxiale: Sive epitaxia silicii sive epitaxia lamellae silicii carburi agitur, resistentia altae temperaturae et resistentia corrosionis navis lamellae SiC eam vectorem idealem faciunt ad incrementum strati epitaxialis altae qualitatis curandum.

distribution: In fornace diffusionis altae temperaturae, navicula laminarum SiC in navicula laminarum LPCVD curationem diuturnam altae temperaturae sustinere potest ut diffusio uniformis atomorum dopantium assicuretur et proprietates electricas accuratas formet.

Tenuis pellicularum Depositio: Praesertim in applicationibus navicularum laminarum Lpcvd, effusio particularum valde humilis et conductivitas thermalis optima navicularum laminarum SiC adiuvant ad pelliculas altae qualitatis et altae uniformitatis obtinendas.

Apparatus congruens et compatibilitas processus:

✔ Compatibilis cum fornacibus LPCVD vulgaribus (velut TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, etc.)

✔ Specificationes crustularum adaptabiles, ut 100mm/150mm/200mm

✔ Installationem instrumentorum processus horizontalium et verticalium sustinet.

Navicula Semixlab pro laminis SiC optima electio est ad efficientiam processus et proventum producti augendum, et princeps est in solutionibus provectis navicularum pro laminis semiconductorum.

Our Services

Taberna Productorum Semixlab

Tabernae productorum Semixlab

QUAESITUM

Genera calida